用于特殊高温工艺

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1.  WI 800/1100 高真空电阻炉 - 底部装载系统

ALD的WI高真空电阻炉特别设计和制造用于工业和研究领域的各种应用情况，满足高温工艺的特殊要求，例如：

• 真空退火、脱气和精炼
• 金属和陶瓷的烧结
• 液相烧结和金属浸渍
• 真空钎焊和活性金属钎焊
• 真空材料测试
 
各个WI炉是专门针对一种特定工艺和应用确定尺寸和配置，包括炉尺寸、布局、真空系统、热区和加料系统。

可通过扩散泵或完全干燥的涡轮分子泵实现高真空。ALD在高温氢气炉方面也有一定的行业经验，可为其提供安全解决方案。

至于超高真空应用，ALD特殊双室概念的能力也已经得到充分证实，可以1850摄氏度的热处理室内中实现小于10-8毫巴极限真空。

所有炉子均配备最先进的PLC工艺控制和可视化系统。