感应加热石英管炉(IWQ)
用于高纯度和侵蚀性气氛下的高纯度材料生产的石英管炉
系统的特点:
- 惰性、高度耐腐蚀的真空室,由石英玻璃制成,具有高度的轴向和径向温度均匀性
- 感应线圈与真空室隔离,可生产高纯度材料
- 对腐蚀性蒸汽具有优异的抵抗力

完美协调的系统步骤中的生产流程
根据材料和大气利用情况,以及客户特定的真空泵单元,IWQ系统有各种尺寸范围可供选择。它们主要用于特殊高温工艺中,需要将进料与加热元件隔离的情况。IWQ系统的具体应用示例包括:
- 金属和合金的蒸馏
- 熔炼以进行脱气、铸造或合金化
- 通过还原金属氧化物来生产金属
- 光学涂层材料、光纤材料、高纯度半导体材料的精炼
- 陶瓷和玻璃的热处理与烧结
- 稀土金属化合物(如Sm、Y和UAl4)的生产
- 单晶碳化硅晶体生长
- 含铝(Al)、锂(Li)、镍(Ni)和镉(Cd)的电池回收
以镍镉电池的真空热回收为例,描述该过程:
已打开的电池从上方放入真空室内的钢制坩埚中。盖上盖子后,施加真空,并通过感应线圈加热钢制坩埚/基座。
现在,电池中的水分、挥发性碳氢化合物以及剧毒的镉会依次逐渐排出。
坩埚内有一根管道将蒸汽引导至温控冷凝器中,镉在此冷凝器中沉积(纯度约99.95%)。
剩余的电池外壳现已无镉,可作为优质废钢进行回收。

感应加热石英管炉,适用于还原、氧化和惰性气氛,以及真空环境,温度可达2000°C
基于多年在复杂真空系统开发和制造方面的专业知识,ALD IWQ炉具有以下优势:
- 灵活、紧凑且可升级的系统设计
- 通过感应方式高效输入热量
- 感应线圈上无冷凝,且外围感应线圈不会使水进入熔炼室
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Mr. Konrad Schubert
T: +49 6181 307 3349
E: Konrad.Schubert@ald-vt.de
