Induktionsbeheizte Quarzrohr-Anlage (IWQ)
Quarzrohr-Öfen für hochreine & aggressive Atmosphären zur Herstellung hochreiner Materialien
Merkmale der IWQ Anlage
- Inerte, hochkorrosionsfester Vakuumbehälter aus Quarzglas mit einem hohen Maß an axialer und radialer Temperaturgleichmäßigkeit
- Induktionsspule isoliert von der Vakuumkammer erlaubt die Produktion von hochreinen Materialien
- Hervorragender Widerstand gegen aggressive Dämpfe

Produktionsprozess in perfekt aufeinander abgestimmten Anlagenschritten
Die IWQ-Anlagen sind in individuellen Größenbereichen, abhängig von der Material- und Atmosphärennutzung sowie kundenspezifischer Vakuumpumpeneinheit realisierbar. Anwendung finden sie vor allem, wenn in speziellen Hochtemperaturprozesse die Einsatzmaterialien von den Heizelementen isoliert werden müssen. Zu den spezifischen Anwendungsbeispielen der IWQ-Systeme gehören:
- Destillation von Metallen und Legierungen
- Schmelzen zum Entgasen, Gießen oder Legieren
- Metallproduktion durch Reduktion von Metalloxiden
- Verfeinerung von optischen Beschichtungsmaterialien, optischen Fasermaterialien, hochreinen Halbleitermaterialien
- Wärmebehandlung und Sintern von Keramik und Glas
- Herstellung von Seltenerdmetallverbindungen wie Sm, Y und UAl4
- Kristallzucht von monokristallinem Siliziumkarbid
- Recycling von Batterien mit Al, Li, Ni und Cd
Prozessbeschreibung am Beispiel des Vakuumthermischen Recyclings von Nickel-cadmium Batterien:
Die bereits aufgebrochenen Batterien werden in einem stählernen Tiegel von oben in die Vakuumkammer eingelassen. Nach Schließen des Deckels wird Vakuum appliziert und mit Hilfe der Induktionsspule der stählerne Tiegel/Suszeptor erwärmt.
Nun wird schrittweise erst die Feuchtigkeit, dann flüchtige Kohlenwasserstoffe und schließlich das hochgiftige Cadmium aus den Batterien ausgetrieben. Ein Rohr innerhalb des Tiegels leitet die Dämpfe nach unten in einen temperierten Kondensator, in welchem das Cadmium abgeschieden wird (~99,95% Reinheit).
Die verbliebenen Batteriekörper sind nun frei von Cadmium und können als hochwertiger Stahlschrott recycelt werden.

Induktionsbeheizte Quarzrohrofen für reduzierende, oxidierende und inerte Atmosphären, sowie Vakuum für Temperaturen bis 2000 ° C
Basierend auf dem langjährigen Know-how bei der Entwicklung und Herstellung komplexer Vakuumsystemen bietet die ALD IWQ-Anlage folgende Vorteile:
- Flexibles, kompaktes und aufrüstbares Anlagendesign
- Effiziente Wärmeeinbringung mittels Induktion
- Keine Kondensation an der Induktionsspule sowie kein Wassereinbruch in die Schmelzkammer aufgrund der peripher liegenden Induktionsspulen
Kontakt
Herr Konrad Schubert
T: +49 6181 307 3349
E: Konrad.Schubert@ald-vt.de